Centrotherm��Ʒ������պ���¯

��պ���¯ VLO6/VLO12

Centrotherm VLO 6 ��պ���¯��Ϊ�Ƚ���װ�͹��ʰ뵼������Ӧ�ö���Ƶģ�������С���������͵�ʵ�����з���Ҫ��
������ɿ��ټ��Ⱥ���ȴ��

��պ���¯ VLO20

centrotherm VLO 20 ��պ���¯�����Ҫ���з����ŵ�ͬʱ��Ҳ����ͨ����պ��Ӽ���ʵ���޿ն����ӵ�С����������λ

��պ���¯ VLO180/VLO300

centrotherm VLO180��VLO300��պ���ϵͳ����Ӧ���ڴ��������ֲ����������¶���߿ɴﵽ750��C�����ϵļ��Ⱥ���ȴ���Ե������ơ� ��

��պ���¯ VLO HP

VLO HP��centrothermϵ��Ψһ��һ���ѹϵͳ�����ǻ��ѹ���ɴ�3bar���ں��ӹ����й�ѹϵͳ��������ѹ��Ч���Լ�С�ն�������������VLOϵ��һ���ṩ��ȫ����Ĺ��ܡ�

Centrotherm������ɢ¯��LPCVD

E1200

Centrotherm E1200С����ʵ����ϵͳ֧�ֶ��ֹ�����������ҪС���������͸������û��ڽ�Сռ�����

E1550

Centrotherm E1550 ���Ż�ϵͳ֧�ֶ��ֹ�����������Ҫ�е�������������һ���ߴ簲ȫ�ϵĸ߹������ܵ��û����ǿɿ�����ά�޵���ʽ¯��ƽ̨��

E2000

Centrotherm E2000������ϵͳ֧�ֶ��ֹ�����������Ҫ��������������߹������ܵ��û������ṩԭ�ߴ�������������������������ά�ޣ���ȫ�ɿ�����ʽ¯��ƽ̨��

Verticoo 200 ��ֱ��ɢ¯

Centrotherm Verticoo 200����������ʽ¯�ɵ���¯�ܣ�˫�����ϻ����Լ���Чȫ�Զ�ԲƬ���ݻ�е����ɡ�

Centrotherm����̼�������¯

Activator 150 �˻�¯

Centrotherm Activator150 ����¯�������SiC��GaN����ע����˻�Centrotherm���ع���¯�ܺͼ���ϵͳ������������¶ȴﵽ1850��.

Oxidator 150 ����¯

Oxidator 150 ����רҵ���з����ܹ�����SICԲƬ�ĸ����������գ�ͬʱ������ڳ���Ĺ�ԲƬ��������Oxidator 150�ṩ���������ϳ�ϵͳ��ʪ�����ա�

Centrotherm����DBCר���ս�¯

DBCר���ս�¯

�豸��������ר����Ը�����DCB�����������ص�:�dz����ȵ��¶Ⱦ����ԡ���Ũ�ȵIJ����Ϳ���ϵͳ�������������ҳ��Ĵ���ϵͳ

Centrotherm���������

CT-BW 2009 ȼ��ˮϴϵͳ

CT-BW 2009ϵ������������ϵͳ��Ϊһ�ָ�����ϵͳӦ���ڹ�����뵼�� �Լ����������ҵ��CVD�Ϳ�ʴ������

CT-W ʪ��β������

ʪ��β�������ڲ�ͬ��CVD��ʴ�̹��շ����ŷŴ�������dz���Ч��Centrothermʪ��β�������ϳ�����β�������豸�кܴ�����ƣ�CT-W����ɫ�ǿ��Լ��ٷ�����99%�Ļҳ������������ҳ����������ų���ˮ��

CT-D ����������

Centrotherm CT-D����������Ϊ�뵼�塢̫�����Լ���ز�ҵ�ṩһ�ְ�ȫ����Ч�Ϳɿ��Ķ����������������