Activator 150

SiC��GaN�˻�ʯīϩ����

centrotherm Activator 150 ����¯������רΪ��-̼�����SiC������-�������GaN�� �豸�ĺ�ֲ���ս����ƿ�����Activator 150 �����ڶ�������¯�壬 ���з�¯����������¯�� �Ҵ�������Ըߡ�centrotherm ���޽�������װ�õĶ���������������¶ȸߴ� 1850 ��C ͬʱ�����˹���ѭ��ʱ�䡣����ռ�ݿռ�С�����óɱ��ͣ����� Activator 150 ��ʵ���������гɱ�Ч�档

�߻��

����ֲڳ̶���С

�¶���ߴ� 1850��C

������ģ�ߴ� 50��Ƭ��150mm��

��������ߴ� 150 K/min

ͨ��SiH4��ʵ�ֹ衰��ѹ