��������ö�����, 4��ˮƽ��ؽ�������е��GCR4000-AMϵ�С�
������֧��300mm�İ뵼������װ����, ���װ�õȵľ�Բ���ˡ�

 

�� ��е�ֱ۱�׼�۳�:210mm

 

�� ��е�ֱۿ��Ե�����Ӧ2��FOUP

 

�� Z�ᣨ�����ᣩ��׼����:300mm

 

�� �ɰ�������:�ֱ۵�3�ؽڴ���׼4kgf����

 

�� ��Ӧ�豸�������ѡ������̶���ʽ�����߷����̶���ʽ

 

�� �䱸����������

 

�� ����ͨѶ��ʽ��RS232C������I/O��ʽ

 

�� ȫ����þ���ֵ����������AC�ŷ����

 

�� S���߼Ӽ��ٿ��Ʒ�ʽ�ܹ����٣��߾��ȵذ��˲�������

 

�� AC�ŷ�����IJ����Լ������˶��켣���Ż�ʵ���˰��˶����ĸ��ٻ��� ��GHR4000�����ٶȿ���1.8��

 

�� ��Բ�̶���ʽ���������ʽ, ����ʽ����Ե�г�ʽ����Ŭ���ǽӴ�ʽ

 

�� ��ָ���ʣ�CFRP��̼��ά), ���Ͻ𣬸ߴ����մɵȶ��ֿ�ѡ����

 

�� ������Ա������������࣬�豸���ֵ�Ҫ���ṩ���ŵ���ָ