centrotherm E1200רΪ���ڿ�����Ŀ����Ƶģ�������С���������͸������û����Ը���Ҫ��ĸ߹��վ��е�����ԡ�

centrotherm E1200С����ʵ����ϵͳ��֧�ֶ��ֹ�������������С���������͸������û����ڽ�Сռ������ϼ����ṩ������������������

�����ڳ�ѹ�Լ�LPCVD��PECVD����
���⹤��ǻ��3��4�ְ汾�ɹ�ѡ��
�Ƚ�����ȴϵͳ:��ͬ¯��֮��û���ȸ���
ȫ�Զ�Ƭ�ܴ���ϵͳ
ģ�黯������ƣ������ڽྻ�Ұ�װ����

• �ɴ�5��ʯӢ�ܻ�SiC�ܷ�Ӧǻ[��Ƭ�ɴ�200mm]
  ��ѡ����ǻ��
  
• �ྻ�Զ�����װ�������ؼ���Ƭ���ջ������ĵ״���
  
• ȫ�Զ�Ƭ�ܴ���ϵͳ�����չ�Ƭ�ߴ�ɴ�200mm��E2000��
  
• �Ƚ�����ȴϵͳ: ��ͬ¯��֮��û���ȸ���
  
• �Խྻ�һ����¶���Ӱ��
  
• ģ�黯������Ʊ����ڽྻ�Ұ�װ����