E1550

����С��ģ��������ʽ¯

centrotherm E1550 ���Ż�ϵͳ��֧�ֶ��ֹ����������������е����������͸߹��������û�����һ�ȫ���ɿ�������ά������ʽ��ɢ¯ƽ̨����¯�ɸߴ�4��ʯӢ�ܻ�SiC���չܣ� ���Ƭ�ߴ�ɴ�300���׵ġ�ƾ�����ά�������гɱ�����ռ�����С�����ƣ� E1550 �������������߳ɱ�Ч��IJ�Ʒ��

�����ڳ�ѹ�Լ�LPCVD��PECVD����
���⹤��ǻ��3��4�ְ汾�ɹ�ѡ��
�Ƚ�����ȴϵͳ:��ͬ¯��֮��û���ȸ���
ȫ�Զ�Ƭ�ܴ���ϵͳ
ģ�黯������ƣ������ڽྻ�Ұ�װ����