E2000

��������������ʽ¯

centrotherm 2000רΪ��������������ƣ�֧�ֶ��ֹ��������������ڴ����������͸߹������ܵ��û���������ͻ���ĸ����ܡ�ռ�����С���͹��óɱ������ơ��ò�Ʒ�Զ���Ӧ��Ҫ��ĸ߹��վ��е�����ԣ����ɸߴ�4��ʯӢ�ܻ��Ƭ�ߴ�ɴ�300���׵�SiC���չ�

�����ڳ�ѹ�Լ�LPCVD��PECVD����
���⹤��ǻ��3��4�ְ汾�ɹ�ѡ��
�Ƚ�����ȴϵͳ:��ͬ¯��֮��û���ȸ���
ȫ�Զ�Ƭ�ܴ���ϵͳ
ģ�黯������ƣ������ڽྻ�Ұ�װ����